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Accueil du site > Divers > Soutien à la recherche > Microscopes électroniques en transmission

Microscopes électroniques en transmission

Ces microscopes permettent tous de réaliser de l’analyse chimique locale( EDS) et de la diffraction électronique. On peut également, avec le 2010 FEG JEOL, réaliser de la topographie (STEM), de l’imagerie haute résolution avec le Tecnai FEI et également depuis quelques temps de la précession des électrons avec le Tecnai et le 2010 JEOL.

Ces appareils permettent, via des outils de simulation, de déterminer la structure des matériaux et de caractériser leurs propriétés ainsi que leurs éventuels défauts. Certains de ces microscopes, équipés des partes-objets adéquats, permettent de travailler sur de grandes gammes de température allant de -250°C (pour l’hélium liquide) à 1000°C, de façon à étudier les transitions de phase des matériaux.

 

Fiche FEI Tecnai

 

TEM point resolution (nm) 0.17
TEM line resolution (nm) 0.144
Minimum focus step (nm) 0.5
TEM magnification range 60 x - 970 kx
Camera length (mm) 90 - 5,000
Maximum diffraction angle +/- 15°
STEM resolution (nm) 1.0
STEM magnification range 100 x 5 Mx
Maximum tilt angle with double-tilt holder +/- 30°
Maximum tilt angle with tomography holder n/a
EDS solid angle (srad) 0.13

Fiche JEOL 2010FEG

 

Resolution (elastic image)
Point image
lattice image

0.23 nm
0.14 nm
Energy resolution
Image
Diffration
Spectrum

20 eV (diameter 80 mm in final image)
10 eV (+/- 2.5°)
2 eV
Accelerating voltage up to 200 kV
Electron gun
Brightness
ZrO2/W (100) Schottkeytype
400000000 A/cm2 ** str (at 200 kV)
Objective lens
Spherical aberration coefficient
Chromatic aberration coefficient

1 mm
1.4 mm
Spot size
TEM mode
EDS mode
NBD mode
CBD mode

2 @ 5 nm dia.
1 @ 2.4 nm
1 @ 2.4 nm
1 @ 2.4 nm
Congent-beam electron diffraction
Onvergent angle

1.5 @ 20 mrad or more
Magnification
MAG
LOW MAG
SA MAG

x 5,000 @ 1,500,000
x 200 @ 5,000
x 5,000 @ 1,500,000
Selected area diffraction 20 @ 200 cm
Loss spectrum 0.1 @ 2 mm/eV
Specimen chamber
Specimen tilt angle
X : +/- 42°
Y : +/- 30°
EDS
Solid angle
TAke-off angle

0.13 str
25°

Fiche JEOL 2010

Microscope en Transmission JEOL 2010


 
 
 
Resolution (elastic image)
Point image
lattice image

0.31 nm
0.14 nm
Accelerating voltage
Minimum variable step

80, 100, 120, 160, 200 kV
50 V
Stability
Accelerating voltage
Objective lens

2 ppm
1 ppm
Objective lens
Focal lenght
Spherical aberration coefficient
Chromatic aberration coefficient
Minimm focal step


3.9 mm
3.3 mm
3.0 mm
5.2 nm
Spot size (step)
TEM mode
EDS mode

1 @ 5 µm diameter
10 @ 200 nm diameter
 
Magnification (step)
MAG
LOWMAG
SA MAG


x 1,000 @ 800,000
x 50 @ 2,000
x 5,000 @ 400,000
Camera length (step)
SA DIFF
Hige resolution diffraction
High dispersion diffraction

150 @ 3,000 mm
4 @ 80 m
333 mm
Specimen chamber
Specimen tilt angle
Specimen movements

+/- 38°
2 mm (XY), 0.4 mm (Z +/- 0.2 mm)
 
EDS
Solid angle
Take-off angle

0.09 str
20°

 

ARM 200

Le JEOL ARM Cold FEG, double corrigé, Centurio, d’Europe est installé à Caen au laboratoire CRISMAT.




⇒Canon émission de champ Cold FEG 200kV

⇒Pièce polaire UHR (résolution point 0.10nm)

⇒Détecteurs HAADF (résolution 0.078nm) + BF (résolution 0.136nm) + caméra numérique Gatan USC1000

⇒Correcteur sonde

⇒Correcteur image

⇒EDX Centurion (JEOL) avec diaphragmes dédiés.