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Accueil du site > Divers > Soutien à la recherche > Microscopes électroniques à balayage

Microscopes électroniques à balayage

Présentation du parc de microscopie MEB

Parc de microscopes électroniques à balayage (MEB)

L’activité repose sur un parc de deux microscopes avec le soutien d’une équipe technique constituée de :
Sylvie COLLIN, Christelle BILLOT, Muriel STREBEL et Xavier LAROSE.
Xavier LAROSE, encadre cette équipe et à ce titre s’occupe de coordonner toutes les demandes ponctuelles, internes et externes au laboratoire et assure la formation des doctorants sous la responsabilité de leur encadrantet des personnels permanents et non permanents.


- 1 FEI XL 30


- 1 ZEISS Supra 55

T330

 

Ce microscope vient d’être remis en route. Son équipement d’acquisition photos devenu obsolèthe, nous venons récemment d’installer un nouveau système d’acquisition numérique relié à un ordinateur. N’ayant aucune sonde d’analyse chimique, ce microscope est destiné à des travaux "in situ" pour réaliser , par exemple, du contrôle sur des matériaux lors de phénomènes de traction à l’aide de modules adaptés à la chambre du microscope.

XL30

 

Ce microscope est actuellement utilisé pour réaliser des analyses EDS en routine. La grande taille de la chambre permet d’insérer des échantillons plus ou moins volumineux, on peut y étudier toute sorte de matériau solide.

zeiss francais

Description :


Microscope Electronique à Balayage à Effet de Champ Carl ZEISS SUPRA 55.

 

 

Le système de détection est composé d’un détecteur d’électrons secondaires « in-lens » ou SE1, d’un détecteur d’électrons secondaires Everhart Thornley ou SE2 avec un « collector bias » ajustable de -250 à + 400 V situé dans la chambre et d’un détecteur d’électrons rétrodiffusés AsB situé à l’extrémité de la colonne. La chambre est également équipée d’une caméra InfraRouge aidant le positionnement de la platine.
Quelques caractéristiques :
Dimension de la chambre : Ф=330 mm et h = 270 mm
Tension d’accélération : 0.1-30 kV
Grossissement : 12-900000x en mode SE et 100-900000x en mode AsB
Distance focale : 1-50 mm


Système d’analyse associé EDAX :
EDS (Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy).
WDS (Wavelenght Dispersive X-Ray Spectroscopy).
EBSD (Electron Backscatter Diffraction).

Possibilités :


La production des électrons par le filament à Effet de Champ combinée à la possibilité d’une distance focale de 1 mm permet de travailler à faible tension d’accélération et donc d’observer des échantillons non conducteurs électriquement.

Le système EDS qui a une résolution de 120 eV permet de faire rapidement des analyses qualitative et quantitative.
Le système WDS qui a une résolution de 20 eV permet de faire de l’analyse quantitative. Très utile quand des pics se chevauchent en EDS.
Le système d’analyse EBSD permet d’avoir accès à l’orientation cristalline.

 

 

spip.php?article301