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Ion Slicer

Réalisation de lames minces pour la microscopie électronique en transmission

Réalisation de lames minces pour la microscopie électronique en transmission

 


 

Vue d’une section transverse d’un échantillon de YFeO3 déposé sur SrTiO3 lors de l’amincissement ionique par l’ion slicer.

 

En a), image MET obtenue à partir de la section transverse réalisée ci-dessus. A l’interface film/substrat en b), YFeO3 croît sous la forme de domaines orientés de petites tailles alors qu’une seule orientation cristallographique est privilégiée loin de l’interface conduisant à une croissance en colonne du film de YFeO3 (schéma de gauche). Cette microstructure particulière permet d’exacerber les propriétés magnétiques de ce composé.

 

Crédits : les illustrations de cette page sont issues d’une étude réalisée dans le cadre du réseau METSA sur une proposition d’expérience de M. J. Scola (GEMAC Versailles UMR CNRS 8635) avec M. P. Boullay (CRISMAT) comme correspondant local. La préparation d’échantillon a été réalisée par M. L. Gouleuf (CRISMAT).

 

Exemple de préparation mécanique d’échantillons en lames minces pour la microscopie électronique en transmission

Voici, les différentes étapes de la préparation d’une cross-section, ici sur une couche mince, par exemple :

1) Couche mince déposée sur un substrat dont on veut obtenir une image par MET.


2) Collage d’une plaque de verre contre la couche mince :


3) La couche mince est ensuite serrée contre une plaque de verre :


4) L’échantillon collé est ensuite mis sous vide afin d’évacuer les bulles d’air de la colle :


5) On procède ensuite au durcissement thermique de la colle à l’aide d’une plaque chauffante :


6) Voici maintenant l’échantillon sur son support de coupe pour ensuite le découper en fines lamelles :

7) Une fois l’obtention de lamelles de taille appropriée à la microscopie électronique en transmission, une lamelle est insérée dans une résine afin de la polir :


puis insérée dans une polisseuse mécanique :


8) Une fois le polissage terminé, la lame mince est installée sur une support d’amincissement ionique :


pour ensuite être introduite dans l’Ion Slicer en position d’amincissement :


S’en suivra les opérations d’amincissement à l’aide de l’Ion Slicer comme dans les exemples suivants.